盛美上海首台面板级水平电镀设备出机海外

2026年10月29日,盛美半导体设备(上海)股份有限公司宣布,其首台量产型310mm×310mm面板级水平电镀设备UltraECP ap-p正式出机,交付至中国大陆以外的亚洲市场。该设备采用自主研发的水平电镀技术,支持铜、镍、锡银及金等多种材质电镀,其中铜电镀腔体配备高速电镀桨叶,可实现300微米铜柱的高均匀性与高效率沉积。设备集成四边密封干式接触卡盘、腔内自动清洗及同步旋转卡盘与矩形电场等专利技术,显著提升膜厚均匀性与工艺稳定性,助力先进封装良率与生产效率提升。

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