2026年8月，埃隆·马斯克暗示其Terafab计划将采用自由电子激光器（FEL）作为新型EUV光源，取代当前ASML使用的激光产生等离子体（LPP）技术。FEL无需锡液滴，可避免污染、降低功耗（理论输入仅0.7兆瓦/1千瓦EUV输出），并支持更短波长（可达6.x纳米）。但FEL设备体积庞大，商业化尚待突破——初创公司xLight预计最早2028年交付原型机。Terafab若落地，仍需ASML提供兼容光刻系统。
免责声明：本文内容由开放的智能模型自动生成，仅供参考。
2026年8月，埃隆·马斯克暗示其Terafab计划将采用自由电子激光器（FEL）作为新型EUV光源，取代当前ASML使用的激光产生等离子体（LPP）技术。FEL无需锡液滴，可避免污染、降低功耗（理论输入仅0.7兆瓦/1千瓦EUV输出），并支持更短波长（可达6.x纳米）。但FEL设备体积庞大，商业化尚待突破——初创公司xLight预计最早2028年交付原型机。Terafab若落地，仍需ASML提供兼容光刻系统。
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