2025年11月14日，深圳市恒运昌真空技术股份有限公司科创板IPO提交注册，拟募集资金14.69亿元，保荐机构为中信证券。公司专注于半导体设备核心零部件研发生产，主打等离子体射频电源系统，产品应用于7-14纳米制程，客户覆盖拓荆科技、中微公司、北方华创等头部企业。2022至2024年营收复合增长率达84.91%，但2025年上半年业绩承压，净利润同比下降11.99%。募资将用于智能化生产基地、研发中心及补充流动资金等项目。若成功上市，将助力国产半导体核心零部件自主替代进程。
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